对于光氧等离子废气处理设备主要是利用了等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行高效协同净化处理：有机废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能高效率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，在纳秒级时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同高效地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。
C波段光氧催化废气治理技术，是一种利用新型的复合纳米高科技功能材料的技术，采用领先的三重祛异味原理。

1、一重净化：采用UV双波段照射废气分子，产生游离电子及电子空穴，生成极强的光氧还原功能，可氧化分解各种有机化合物和部分无机化合物，废气分子吸收了紫外线的能量后，细菌分子的DNA（脱氧糖核酸）与核蛋白之间的断裂，造成核酸与蛋白的交联破坏，达到一重除臭净化作用；
2、二重净化：光氧催化在释放大量C波段紫外线氧化分解恶臭废气分子同时并产生臭氧，臭氧极易分解，有很强的氧化性能破坏分解细菌的细胞壁，能很快地扩散透进细胞内，氧化分解有毒有害的废气分子，直接破坏废气大分子聚合物。3.三重净化：光触媒纳米粒子在特定波长的光线照射下受激生成电子空穴对，空穴分解催化剂表面吸附的水产生氢氧自由基，电子使其周围的氧还原成活性离子氧，从而具备极强的氧化还原作用，将光催化剂表面的各种污染物摧毁，最后将其分解成无污染的水（H2O）和二氧化碳（CO2）。
       低温等离子废气处理机理包含两个方面：一是在高压放电产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；二是等离子体由于是高压放电产生，其中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子 获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量·OH、·HO2、·O 等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，最终生成无害产物。